高純氣體中央供氣係統是(shì)專為高精度分析測試設備所用高(gāo)純工作氣體的傳輸而設計,係統需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩定且經過長距離傳輸(shū)後純度不變的高純氣(qì)體以滿足各種(zhǒng)高精度分析設備的使用要求。係(xì)統同時還應該滿足安全性的(de)要求,並方便客戶的日常使用及管理。
一、氣瓶間(jiān)布局1.由於(yú)存放的氣體由於有可燃性氣體和助燃氣體,按國家規(guī)定必須(xū)分庫(kù)存放。分別放入不同的氣瓶間內。
2.氣瓶間內設立一次調壓(yā)麵板,其中二(èr)托一麵板帶吹掃銅鍍鉻麵(miàn)板4套。
3.壓力調節器(qì)入口前需加裝燒結金屬過濾器以防止顆粒等雜質汙(wū)染係統。
4.所有麵板均配備吹掃閥,可(kě)實現對麵板的清洗置換。
5.壓力調節器及相(xiàng)關管件均需牢固的固定(dìng)在壓力調節麵板上,麵(miàn)板應設計的緊湊而合理,以盡量減少係統中的死體積。
6.壓力調節麵(miàn)板應采用全不鏽鋼材料製成,並且牢固的固定在可靠的位置上,確保其安全性。
7.氣瓶間內存放的氣瓶(píng)采用帶防倒鏈(liàn)的(de)氣瓶支(zhī)架固定,氣瓶(píng)支架堅固耐用、美觀大方。氣瓶支架采(cǎi)用鋁(lǚ)合金製作而成。
8.氣瓶間內的氣體鋼瓶(píng)與壓力調節器之間采用SS316L高壓(yā)金屬軟管連接無滲透。高壓軟管為柔性軟管,以保(bǎo)證連接的方便性。並自導防護鋼纜,預防極端情況下,鋼瓶閥(fá)損(sǔn)壞等現象帶來的(de)高壓“抽鞭”事故。壓力調節器(qì)與管道的連接方(fāng)式為雙環卡套(tào)。
9.高壓軟管上的鋼瓶接頭(tóu)必需與鋼瓶角閥(fá)的規格相匹配,以確保(bǎo)連接的可靠性。
10.排空氣路應分類收集、固定(dìng)牢(láo)固並排放至(zhì)室外安全地點。
二、終端布局
1.係統(tǒng)設置為二次減壓係統。終端采用壁掛式設計。上設(shè)有壓力調節器、輸出壓力指示計、緊(jǐn)急切斷閥,同一氣路的呈上下對應排布,方便操作。麵板為不鏽鋼產品,壁掛式終端標準型:終端可以實現在室內對設(shè)備的壓力調節、輸出(chū)壓力的監控及氣路開關控製,省去了每日往返於氣瓶間和實(shí)驗間的奔波,提高了辦事效率(lǜ)。
2.控製終端上的氣體出口尺(chǐ)寸要與(yǔ)分析儀的氣體入口尺寸相對應,氣體出口接頭還應方便安裝。
三、氣路的布線
1.氣瓶間內壓力調節(jiē)麵板(bǎn)與實驗室內的氣路終端之間選用SS316LBA管進行連接,管道內表麵光潔度為Ra<0.4umBA級(jí)管道。
2.4N氮氣主管線采用OD3/8”(6.35mm)的管道,0.5Mpa壓力下(xià)流量可達8M3/小時,完全滿足(zú)常規用氣需求(qiú),支線采用OD1/4”(6.35mm)的管道。用焊接三通分出(chū)支路來對設備(bèi)進行供氣。
3.5N氮氣、氦氣、預留氣主管線采用(yòng)OD1/4”(6.35mm)的管道,支線采用(yòng)OD1/4”(6.35mm)的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行(háng)供氣。
4.管道穿過障礙物時須使(shǐ)用管(guǎn)套(tào)並采用(yòng)不(bú)可燃材料填充間隙。
5.管道之間采用最先(xiān)進的美國全自動定位軌道式氬弧焊(hàn)機進行內外保護氬弧焊(TIG)方式連(lián)接,其優點是(shì)泄漏(lòu)率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內表麵產生氧化層(céng)或褶皺等焊接缺陷。
6.管路上的三通全部采(cǎi)用焊接三通來實現連接,可更有效保證氣體的傳輸質量。
7.管道需用固定卡(kǎ)具(jù)固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結構美觀(guān)大方。與牆體和管道固定牢固。且為耐火材料(鋁合金)製成。
8.氣體管路在鋪設過程中要做到(dào)橫平豎直,為保證(zhèng)管道走線的(de)直線度和管道間的間距,每(měi)間隔一定距離應設置一組管卡。卡具應由不燃材料(liào)製作而成,美觀大方。
9.應盡量減少彎(wān)曲以防止被傳輸的氣體壓力、流量損失過大。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應有安全加固,設計合適的拐彎半徑(jìng),彎(wān)曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質量由專用工具保證。係統布線應盡量減少接(jiē)縫(féng)以降低泄漏的可能(néng)性。
10.配管時的每根管道(dào)每個管件均要用高壓的5N高純氮氣進(jìn)行吹掃才能接(jiē)入係統,整個係統安裝完畢後還要用5N的(de)高(gāo)純氮進行(háng)大流量氣體吹掃(sǎo),以確保係統的潔淨度即流出的氣(qì)體無油脂及明顯的固體顆粒物流出。
11.係統安裝完畢後要用高純氮氣進行高壓部分、低壓部分氣密性(xìng)實驗(yàn),對整個係統進行(háng)檢測。
12.壓力調節麵板和氣路控製終端上粘貼氣路編號、氣體種類、濃度等(děng)標識。